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臨場電鏡服務

技術說明

於TEM內部營造預先設計之反應情境,並即時對反映中之樣品進行觀測,藉此了解樣品的動態微結構/微化學演變情形。此技術對於探討材料的成形機制、應用作動,以及劣化過程能起到根本上的輔助效果。

機台簡介

Electronics Control Unit(ECU) / Aduro TEM Holder
  • Electrical & strain related:
    • Sample control strategy:
      → piezo -movement
    • Current resolution
      → better than 0.1 nA
    • 2.TEM image resolution:
      → better than 0.4 nm

應用成果

Electrical related in-situ TEM study
Electrical related in-situ TEM study
3DIC related in-situ TEM study
3DIC related in-situ TEM study