請問 XPS可以偵測樣品的濃度極限為多少？

[ 發佈日期 ] 2012/7/29 下午 03:05:00

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問題與回應

1. 請問 XPS可以偵測樣品的濃度極限為多少？

回應：XPS為一種測定材料中元素構成、實驗式，以及其中所含元素化態和電子態的定量能譜技術。這種技術用X-Ray照射所要分析的材料，同時測量從材料表面以下1奈米到10奈米範圍內逸出電子的動能和數量，因此為一種表面分析工具的利器，其偵測極限為0.01 at%至0.5 at%，視實驗條件與分析元素而定，基本上低濃度需要長時間的累積。

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