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電鏡3D元素分佈顯像技術

[ 發佈日期 ] 2012/9/21 上午 12:00:00


內容:

  • 重要技術進展
    • 突破過去3D顯像技術無法分辨材料差異,提昇3D元素分辨能力。
    • 在低電子輻照量條件下,達成影像對比與3D影像解析度提昇。



  • 對研究計畫之貢獻
    • 協助材料開發最佳化。
    • 可運用在半導體與顯示器產業之三維成份分佈解析。

▲技術規格:3D元素空間分佈<10 nm3、 傾轉系列影像紀錄數目<4°/image (現有技術為~10°/image)、傾轉角度達-90° to 90° (現有技術為-60° to 60°C), 3D重建時間<10 mins。

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