首頁 > 新訊分享 > 最新訊息 > 訊息內容 本研究室突破電鏡3D元素分佈顯像技術 [ 發佈日期 ] 2014/6/2 上午 11:17:00 內容: 重要技術進展 突破過去3D顯像技術無法分辨材料差異,提昇3D元素分辨能力。 在低電子輻照量條件下,達成影像對比與3D影像解析度提昇。 對研究計畫之貢獻 協助材料開發最佳化。 可運用在半導體與顯示器產業之三維成份分佈解析。 技術規格:3D元素空間分佈<10 nm3、 傾轉系列影像紀錄數目<4°/image (現有技術為~10°/image)、傾轉角度達-90° to 90° (現有技術為-60° to 60°C), 3D重建時間<10 mins。 附件: