SPM已發展出可量測物體表面之各種物性(如電導電容表面力學及磁性),但其化學成分及鍵結一直不容易判斷,利用Tip Enhanced Raman Spectrum (TERS-Enabled)的技術,結合SPM及拉曼光譜,可建立較完整的表面檢測系統。