請問 XPS可以偵測樣品的深度為多少？

[ 發佈日期 ] 2012/7/14 下午 03:08:00

內容：

問題與回應

1. 請問 XPS可以偵測樣品的深度為多少？

回應：一般而言，XPS分析極表面之元素分佈,其偵測訊號來源不超過表面5 nm以上之元素，若想知道更深層的訊號，可配合ion gun sputter分析較底層之訊號｡

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