AI智能化分析於能譜資料解析上的應用
[ 發佈日期 ] 2022/6/27 上午 12:00:00
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電鏡技術開發與應用研究室(EMDA)積極佈建先進元件檢測能量，藉由自行開發軟體演算法強化既有分析儀器的研發深度，創造新檢測服務項目，以滿足國內半導體產業研發需求。
研究成果於2021年在國際重要材料會議發表：中國材料年會年度會議(2021 MRS-T International Conference) 。論文名稱為 “Development of Artificial Intelligence Applied for the EELS Analysis of Advanced Devices”。
本文貢獻在於將既有用於半導體領域的分析技術透過演算法設計的方式，也能應用於先進元件分析，解決以往半導體多層膜在能譜分峰中解析能力不夠而導致內在成分定量失準狀況，協助縮短先進元件的研發時程。
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