傳統的IR光譜成像並無法達到空間高解析度之影像，結合AFM掃描模組及奈米等級寬度之探針為偵測端，使用近場理論可將IR的空間解析度推往次微米等級，甚至更佳，Anasys Instrument發展AFM-IR系統除了增進上述所提之IR空間解析度部分，更使SPM使用者除了表面形貌及相關物理特性之外，更使得使用者了解其化學元素方面之相關訊息，結合兩種技術之強項，可使其廣泛應用於生化分析於奈米尺度的研究領域。