液態樣品檢測分析

[ 發佈日期 ] 2023/12/7 上午 12:00:00

內容：

電鏡技術開發與應用研究室(EMDA)積極開發次世代關鍵材料/元件之微結構分析技術。

一般傳統乾燥法會使材料產生收縮現象，使得在微結構上產生形變。而有機/無機複合材料則會因有機物質覆蓋於材料表面而無法獲得真實材料的形貌，然而材料的真實型貌往往會是影響材料/元件性質的關鍵因子。

因此本文利用Liquid cell在SEM真空環境下創造大氣液態環境，保存樣品原貌，從而獲得無失真之顯微結構，提供產學研界進行前瞻材料研究。

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