快速EM檢測服務(SEM,TEM,FIB)：TEM/EDS快速檢測技術
技術說明
本場發射穿透式電子顯微鏡，裝配X射線能量散佈分析儀（EDS）、電子能量損失譜儀（EELS）、及附有高角度環狀偵測器之掃瞄影像觀測元件等，可以同時提供材料微結構影像、成分、鍵結等訊息。不僅可得到材料微結構之高解析影像（High Resolution Lattice Image），也可獲得掃瞄穿透式影像（STEM Image）、高角度環狀暗場像（HAADF Image）等。此外，本儀器也包含了分析材料成分、化態結構等之EDS及EELS分析功能。 目前場發射TEM搭配之EDS系統為OXFORD X-Max 80mm2，具備了免液態氮、高計數率、更寬廣的元素分析範圍等優點，可分析元素提升至Z≧4（Bi），亦具有較高的能量分辨率。
並同步更新EDS分析軟體（Aztec)，Aztec不僅有鎖定樣品位置之Autolock功能，也具有Tru map及Tru line等功能，使得分析結果更可靠，也能充分發揮場發射TEM/OXFORD X-Max之能力。
機台簡介
JEM-2100F / EDS(Oxford X-MAX 80mm2)
- JEM-2100F Specification：
- electron gun：
- ZrO／W (100), Schottky type (field emission)
- accelerating voltage：
- max.200 KV
- magnification：
- 50 X～1,500,000 X
- tilt angle：
- ±25 degree
- Probe Size：
- TEM Mode: 2 ～ 5 nm (diameter)
- EDS Mode: 0.5 ～ 2.4 nm (diameter)
- NBD Mode: 0.5 ～ 2.4 nm (diameter)
- CBD Mode: 0.5 ～ 2.4 nm (diameter)
- Resolution：
- Point Resolution:：0.19 nm (can achieved to 0.136 nm)
- Lattice Resolution：0.1 nm
- Appendix：
- EDS、EELS、STEM、HAADF、Digiscan Image Acquisition System
- EDS(Oxford X-MAX 80mm2)
- 偵測範圍 原子序5以上
- 能量解析度 Mn Ka<133eV
應用成果
- 傳統Si(Li) detector EDS system 分析時間較長，樣品飄移導致分析區域影像及Linescan結果不符。新型SDD detector (Oxford X-Max) EDS system and software (Aztec) 可有效縮短分析時間，降低樣品飄移導致的問題。
- 在多層膜截面分析中，除膜層厚度之量測外，分析各膜層的組成也相當重要。TEM檢測中常以EDS linescan來獲得各層組成資訊，但因很多元素有波峰重疊問題而其準確度易受質疑。然而，透過Aztec軟體內之Truelinescan功能，可以得到快速又準確之元素組成訊息。
