多型態樣品製備服務：定點機械研磨技術

• 定點機械研磨技術
• 新世代SEM截面樣品製備系統
• 超薄切片及染色技術
• 低溫樣品製備
• FIB定點TEM樣品製備技術

技術說明

此技術由 IBM 開始發展，這種技術可以控制方向、角度、高低以及試片的厚度，因此可以做出理想、可供高解析觀察的試片。也因楔型研磨技術提供了較其他試片製備技術更強的可塑性，不但可以做平面研磨，也可以做橫截面研磨，並可將此技術結合離子減薄儀，進行精準定點平面或橫截面研磨。

機台簡介

研磨拋光設備 / 定點機械研磨工具

應用成果

利用此定點機械研磨技術，可於檢測分析時提供正確試片的判讀與分析，其應用的產業非常廣泛，任何需要失效分析的產品或者新開發的材料、製程..等等，均可應用此技術完整精確的製備出分析試樣。